的验证在汪铎的具体操作和江南的口头指挥下圆满成功。 新型压电陶瓷致动器在逆模型补偿器的控制下,表现出了远超现有技术的定位精度和响应速度,完美解决了之前工程师质疑的迟滞和非线性问题。 紧接着,江南一鼓作气直接展示了第三套针对光源稳定性控制的优化方案,同样获得了令人振奋的模拟数据。 三套预案,每一个都得到了验证,每一个都大获成功。 整个实验室的气氛达到高潮,所有的科研人员全都欣喜若狂鼓掌欢呼,之前因技术瓶颈和实验停滞压抑的气氛一扫而空,取而代之的是前所未有的锐意和信心! “太好了!照这个思路下去,我们一定能攻克光刻机难题!” “世界上第一台真正的光刻机要在我们手上诞生了。” “这会成为半导体行业的最...
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